事件：公司发布2023年限制性股票激励计划(草案)。

股权激励范围较为广泛，充分调动员工积极性利好中长期发展

本激励计划拟向激励对象授予160万股限制性股票，约占本激励计划草案公告时公司股本总额的1.16%，其中首次授予128万股，约占本激励计划草案公告时公司股本总额的0.93%，首次授予部分占本次授予权益总额的80%；预留32万股，约占本激励计划草案公告时公司股本总额的0.23%，预留部分占本次授予权益总额的20%。本激励计划首次授予部分涉及的激励对象共计162人，约占公司全部职工人数880人(截至2022年底)的18.41%，覆盖范围较为广泛。中国大陆半导体产业的高速发展，技术人才是重要竞争力，本次股权激励覆盖面进一步下沉，可以更好地激励人才，有效地将公司利益和激励对象紧密捆绑，利于公司中长期发展。

【资料图】

考核目标驱动业绩持续快速增长，成本摊销费用影响可控

公司分2023-2026年四个会计年度进行业绩考核并行权，具体来看：1)收入端：对各考核年度的营业收入累计值定比基数(2022年营业收入值)的年度累计营业收入增长率(A)、各考核年度营业收入同比增长率(B)进行考核。(1)若A≥对标企业营业收入增长率平均水平，且B>；0，则各年度公司层面归属比例为100%；(2)若对标企业营业收入增长率平均水平*0.8≦A<；对标企业营业收入增长率平均水平，且b>；0，则各年度公司层面归属比例为80%；(3)若A<；对标企业营业收入增长率平均水平*0.8或B≤0，则各年度公司层面归属比例为0。2)费用端：若假设授予日为2023年8月底，则预计摊销的总费用约1.24亿元，其中2023-2027年分别为2218、5442、2607、1509和635万元。虽然该费用摊销对净利润有所影响，但同时此次限制性股票激励计划实施后，将有效激发骨干员工的积极性，从而提高经营效率，给公司带来更高的经营业绩和内在价值。

前道Track国产替代快速突破，化学清洗机进一步打开成长空间

公司积极布局前道涂胶显影设备领域，产品体系不断完善，国产化进程快速推进，同时化学清洗机进一步打开成长空间。1)前道涂胶显影：公司Off-line、I-line、KrF机台等均已实现批量销售，浸没式机台已陆续获得国内多家知名厂商订单，超高温Barc机台也成功实现了客户导入。此外，2022Q4公司首台浸没式高产能涂胶显影机在国内某知名客户处完成验证，已顺利实现验收。日本TEL在涂胶显影领域具备全球主导地位，我们看好公司国产替代加速推进。2)清洗设备：公司前道Spin Scrubber单片式物理清洗机已较为成熟，2021年募投项目加码市场空间更大的单片式化学清洗机，有望成为第二成长曲线。

盈利预测与投资评级：考虑到公司在手订单充足，我们维持2023-2025年营业收入预测分别为20.18、28.45和37.91亿元，当前市值对应动态PS分别为10、7和5倍，维持“增持”评级。

风险提示：半导体行业投资下滑，新品研发&；产业化不及预期等